辉光放电质谱仪(GD-MS)
适用于高纯铟、高纯钛、高纯铜、高纯镓、半导体材料高纯硅、高纯石墨材料、氧化铝的纯度及杂质元素测试，以及稀土氧化物，高纯合金杂质元素测试。
测试元素范围：除碳（C），氢（H），氧（O）氮（N）以外元素。
测试能力范围：高纯无机材料金属及氧化物纯度测试（3-6N），纯度最高可以测试99.9999%。
样品要求：
针状样品：导电：样品磨成针状后测试（硅块）；不导电：用辅助电极制备（粉末类）
平面样品：导电：制备成片状直接测试（硅片，金属片）；不导电：嵌铟法测试（粉末、颗粒测试）
块状，5mm*5mm*30mm；平面类样品：20mm*20mm，厚度2mm以内；粉末类：大于5g； 颗粒类：大于5g（难制样）
试验测试周期：
10个工作日
